直线电机运动控制技术在晶圆检测系统中的应用

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直线电机运动控制技术在晶圆检测系统中的应用

发布日期:2018-12-03 11:33:33浏览次数:185

博智达机器人直线电机技术已大量应用于半导体业所需的最先进运动系统。如果精度等级需要达到亚微米级,位置稳定性需要纳米级,必须用最先进的技术。 对这样的要求,任何部件缺陷都将影响整机性能。正因为此,博智达机器人为用户提供全套运动系统平台,它具有最高质量的部件和最好的机械结构设计技术。在晶圆检测工具中,需要极高的精度和极高产能。
为满足高标准应用要求,博智达机器人采用LSM直线电机以及其特有功能满足这种高科技行业要求。最终,这些重要部件成为实现最高性能机械系统的组成部分。
例如, 右图中的滑台在刀具位置的加速度达到1g,运动速度1m/s, 精度1.5微米, 重复精度200纳米。使用一体化的电机,控制单元,位置测量系统和机械设计,实现亚纳米级短行程定位运动。
AOI / 贴片机
 
直线电机
在大部分微电子器件生产中都需要进行无损检测。这种检测用于确保产品功能和可靠性。由于是在线检测,因此速度必须快,精度必须高,确保生产线产
能不受品质控制程序的影响。
根据被测产品类型,从无源器件到复杂IC,需要用不同的检测技术,例如光学检测,X射线检测或超声检测,博智达机器人产品在2D和3D自动光学检测(AOI)设备中有广泛应用,由直线电机技术构成的全套运动系统带给用户高精度和最高产能。
检测设备中,为达到最高性能,通常两个重要系统必须保持同步:运动平台和检测系统本身。由于HANS能够提供带运动控制单元的完整运动平台系统,确保了检测设备的关键运动技术要求。这使OEM公司能够专注于其在检测系统、缺陷识别软件等方面的核心竞争力,同时所需精度,重复精度和产能由经验丰富的运动系统供应商—博智达机器人公司保证。

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